Humboldt-Universität zu Berlin - Mathematisch-Naturwissen­schaft­liche Fakultät - Physik von Makromolekülen

Fortgeschrittenenpraktikum Ellipsometrie

Thema:

In diesem Versuch werden dünne Filme aus Polystsrol mit Hilfe des Spin-coating Verfahrens hergestellt und ihre Schichtdicke mit der Methode der Ellipsomoetrie vermessen. Die Filme werden auf Substrate aus Silizium hergestellt, die bereits mit einem Film aus SiO2 überzogen sind. Die Polymerfilme werden aus einer Lösung heraus hergestellt, wobei über die Drehgeschwindigkeit des Spincoaters die Filmdicke eingestellt wird. Mit Hilfe der Elliposmetrie werden die Schichtidicken der SiO2-Schicht und der Polymerfilme gemessen. Es soll gezeigt werden, dass die Filmdicke der Polymerschicht proportional zur Wurzel aus der Drehgeschwindigkeit des Spincoaters ist.

Dauer:

1 Tage

Material:

Corona-spezifische Anmerkungen:

  1. Treffpunkt ist 9:30 Uhr vor dem Labor, Raum 1'116 (falls nichts anderes vereinbart).
  2. Bitte unbedingt Mund-Nasenschutz mitbringen!
  3. Es geltendie Hygeineregeln für das F-Praktikum. Bitte beachten!