Versuch im F-Praktikum
Ortsaufgelöste Elementanalyse und Abbildung im Rasterelektronenmikroskop
In diesem Versuch soll anhand von auf einem Siliziumsubstrat gewachsenen Germaniuminseln, die Abbildung und Elementanalyse im Rasterelektronenmikroskop untersucht werden. Dabei werden folgende Detektoren verwendet:
- Sekundärelektronendetektor (SE2)
- Energiedispersiver Röntgendetektor (EDX)
Die folgenden Prinzipien sollen bei diesem Versuch und praktisch angewendet werden:
- Arbeitsprinzip eines Rasterelektronenmikroskops (REM)
- Wirkungsprinzip elektronenoptischer Linsen
- Streuprozesse und Detektoren im Rasterelektronenmikroskop
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie
Information zur Durchführung des Praktikumsversuchs:
Falls Sie den Versuch in dem Kleinstein-Portal gebucht haben, schickt Ihnen der Betreuer nähere Informationen zu dem Ablauf des Versuchs.